Астигматизм. Астигматизм в электронной микроскопии обусловлен одной причиной - асимметрией магнитного ноля объективных линз. В результате происходит перефокусировка данной точки исследуемого объекта в одном направлении и недофокусировка ее в другом.

Другими словами, эта точка не может быть сфокусирована точно, и происходит увеличение кружка вокруг точек изображения. Распределение дифракционных полос Френеля вокруг такой точки создает впечатление, что эта точка вытянута в одном направлении. Несомненно, что астигматизм объективной линзы сильно влияет на разрешение.

Асимметрия магнитного поля объективной линзы объясняется следующими причинами:
негомогенностыо металла, использованного для изготовления полюсного наконечника объектива;
невозможностью изготовления полюсного наконечника с каналом абсолютно круглого сечения;
загрязнениями, которые заряжаются и оказывают влияние на иоле линзы. Эти загрязнения могут находиться на диафрагме объектива, держателе образца.

Элементарные основы теории электронной микроскопии в самом образце, в канале полюсного наконечника или на других поверхностях, расположенных неподалеку от образца и доступных электронному лучу.
Две первые причины асимметрии магнитного поля устранить невозможно, однако они могут быть компенсированы применением корректоров астигматизма (называемых иногда стигматорами).

Корректор астигматизма- это приспособление, которое вводит дополнительную асимметрию ноля линзы в направлении, перпендикулярном ее естественной асимметрии. Посредством этого сводится на нет влияние асимметрии поля линзы. Подробное описание коррекции астигматизма объективной линзы приведено в гл. 5. Если необходимо достичь разрешения выше чем 100 А, то такая коррекция обязательна.